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在“双碳”目标驱动下,电子芯片行业作为高精密制造领域的代表,正面临绿色转型的迫切需求。芯片制造中的光刻、清洗、封装等环节,均需稳定且高效的高温热源支持。传统电加热或燃气锅炉不仅能耗高、碳排放量大,还存在控温精度不足、运行成本高昂等痛点。而兼具高效节能与精准控温优势的高温空气能热泵,正成为行业绿色升级的新引擎。
一、芯片制造的热源痛点与革新需求
电子芯片生产对热源的要求极为严苛:一方面需提供80℃-120℃的高温热水或蒸汽,满足清洗、蚀刻等工艺需求;另一方面要求热源稳定性高,避免温度波动影响良品率。传统电加热设备能效比低(COP值约1.0),且耗电量巨大,而燃气锅炉则存在碳排放高、安全隐患等问题。
以某芯片封装企业为例,其原有电加热系统每月电费超高,且温度波动常导致产品批次不合格。如何兼顾“控温精度”与“节能降本”,成为企业亟待解决的难题。
二、高温空气能热泵:芯片制造的绿色热力方案
高温空气能热泵通过吸收空气中的低品位热能,经压缩机提升后输出高温热水,能效比可达3.0-4.0,较传统电加热节能60%以上。其核心优势在于:
高温稳定输出:采用复叠式压缩技术及环保冷媒,出水温度可达95℃,满足芯片生产各环节需求。
智能精准控温:内置AI算法与物联网系统,实时调节运行参数,温差控制精度达±0.5℃,保障工艺稳定性。
余热回收增效:可回收生产废水、废气中的余热,实现能源梯级利用,综合能效提升30%。
零排放更安全:无燃烧过程,杜绝碳排放与燃气泄漏风险,符合芯片车间洁净度要求。
三、应用案例:某芯片封装厂节能改造实录
华东地区某半导体封装企业,原采用电锅炉为清洗线提供85℃工艺热水,日均耗电量达1.2万度。2024年,该企业引入江苏欧贝高温复叠式空气能热泵机组,配套余热回收系统,实现以下成效:
节能降本:热泵COP值达3.8,年节约电费超60%,投资回收期仅2年。
控温升级:水温波动由±3℃降至±0.5℃,产品不良率下降12%。
随着《中国制造2025》对绿色工厂的推进,高温空气能热泵凭借其高效、稳定、清洁的特性,正从辅助热源升级为核心供热设备。
电子芯片行业的高质量发展,离不开底层能源技术的革新。高温空气能热泵不仅是节能降耗的利器,更是企业实现“零碳工厂”愿景的关键拼图。选择绿色热源,既是成本管控的理性决策,更是对可持续发展的责任担当。
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